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LMM線縫寬(CD)測(cè)量機(jī)

LMM線縫寬(CD)測(cè)量機(jī)
LMM系列大面積高精度線寬測(cè)量機(jī),通過(guò)手動(dòng)或根據(jù)設(shè)計(jì)的測(cè)量程序自動(dòng)對(duì)工件線路進(jìn)行線寬及套合測(cè)量,保證線路寬度及套合精度,測(cè)量精度可達(dá)到5nm

應(yīng)用領(lǐng)域:
1.FPD(LCD、OLED、PDP等)、IC封裝、高精度PCB (HDI,BGA、CSP等) 、 Photomask、模具及其他電子行業(yè)基板的精密測(cè)量。
2.線、縫寬度、圓直徑、圓度、圓環(huán)寬等小尺寸的精密測(cè)量。

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