LMM線縫寬(CD)測量機
LMM系列大面積高精度線寬測量機,通過手動或根據(jù)設計的測量程序自動對工件線路進行線寬及套合測量,保證線路寬度及套合精度,測量精度可達到5nm
應用領域:
1.FPD(LCD、OLED、PDP等)、IC封裝、高精度PCB (HDI,BGA、CSP等) 、 Photomask、模具及其他電子行業(yè)基板的精密測量。
2.線、縫寬度、圓直徑、圓度、圓環(huán)寬等小尺寸的精密測量。
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